眾所周知，目前全球只有ASML一家能夠制造EUV光刻機(jī)，像尼康、佳能等巨頭，還停留在DUV光刻機(jī)上。

更有意思的是，尼康、佳能現(xiàn)在基本上不再研究EUV光刻機(jī)，像佳能開始轉(zhuǎn)方向，轉(zhuǎn)向NIL納米壓印技術(shù)上去了，想要換條道。

(資料圖片僅供參考)

此外，其它對光刻機(jī)有野心的廠商，基本上也沒怎么去研發(fā)EUV光刻機(jī)，轉(zhuǎn)向去研究BEL電子束技術(shù)、X射線光線、DSA自組裝等技術(shù)去了。

那么這是為什么呢？大家都不和ASML一樣，從DUV到EUV光刻機(jī)，按照這樣的成功的方向走呢？其實原因非常簡單，那就是ASML在研發(fā)出EUV光刻機(jī)后，其實已經(jīng)將這條路堵上了，其它人要打通這條路，基本上無望。

一臺EUV光刻機(jī)，按照ASML的說法，至少有超過45萬個零件，其中15％是ASML自研的，另外的85％是采購的，ASML是融合全球的供應(yīng)鏈，然后再組裝出來。

EUV光刻機(jī)中，最核心的是光源、物鏡系統(tǒng)、工作臺。其中光源部分，ASML收購了美國企業(yè)Cymer，再與德國TRUMPF公司，自己研發(fā)出來的。除了這三大廠商外，目前全球沒有一家廠商，能夠搞定這套光源系統(tǒng)。

而物鏡系統(tǒng)就更難了，全球只有蔡司有這種光學(xué)技術(shù)，而蔡司與ASML捆綁，只對ASML供貨，因為這項技術(shù)是雙方共研的。

所以如果其它廠商，要造出EUV光刻機(jī)，就要找到可以媲美蔡司的光學(xué)廠商，還要找到能夠制造紫外線光源的廠商，這兩項都是難上加難，可以說基本上沒什么希望。

而EUV光刻機(jī)市場，并不是那么大，因為它已經(jīng)不是簡單的幾個企業(yè)就能玩的轉(zhuǎn)的，需要一整個利益鏈條，已經(jīng)不是“商業(yè)邏輯”可以覆蓋的。

可以說，整個EUV光刻機(jī)體系，也基本只能供得起一家ASML，而ASML不僅將下游客戶捆綁上了，還已經(jīng)把全球能夠制造出來核心零件的廠商，與自己捆綁上了，聰明的搞“客戶聯(lián)合方案”，把其它廠商研發(fā)EUV的路就堵住了。

所以就算其它光刻要廠商，有這個想法，也能能換條道，換成NIL技術(shù)、DSA技術(shù)，或BEL電子束技術(shù)，不去碰EUV技術(shù)，因為EUV這條路，碰不得，走不通。

關(guān)鍵詞： 電子束技術(shù) 這是為什么呢