眾所周知，OLED作為新型顯示領(lǐng)域中最熱門的技術(shù)路線之一，是我國重點(diǎn)支持的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。近年來，在發(fā)展OLED產(chǎn)業(yè)的路上，為實(shí)現(xiàn)對三星與LG等韓企的彎道超車，我國京東方、TCL華星與維信諾等OLED面板龍頭正在與相關(guān)設(shè)備廠商合力加速攻關(guān)噴墨打印與光刻像素圖案化等量產(chǎn)工藝。

今年6月，韓國顯示產(chǎn)業(yè)協(xié)會創(chuàng)新顯示創(chuàng)新工藝項(xiàng)目組主任Kim Yong－seok曾表示，對通過半導(dǎo)體光刻工藝制造OLED面板的技術(shù)持應(yīng)持謹(jǐn)慎態(tài)度，因?yàn)榻衲闟ID上特別多的企業(yè)宣布了使用半導(dǎo)體光刻工藝而不使用FMM的OLED技術(shù)。其中就以中國維信諾的ViP和日本JDI的eLEAP為代表性技術(shù)。

對整個行業(yè)而言，制造工藝的路線多元化代表了當(dāng)前產(chǎn)業(yè)正在走持續(xù)創(chuàng)新的發(fā)展之路，但對于企業(yè)而言，工藝路線的多元化則代表著“機(jī)會與危機(jī)”，如何權(quán)衡利弊、統(tǒng)籌兼顧是每個企業(yè)都要面臨的抉擇。

(相關(guān)資料圖)

Sunic Systems開發(fā)的高分辨率對準(zhǔn)器

近日，據(jù)韓媒ETnews報道，韓國OLED蒸鍍設(shè)備制造商Sunic Systems開發(fā)出了一種可以在玻璃基板上實(shí)現(xiàn)制造高分辨率OLED面板的設(shè)備（對準(zhǔn)器）。據(jù)介紹，這是一款可以制造比現(xiàn)有分辨率最高提高4倍以上的OLED設(shè)備，可大幅提高虛擬現(xiàn)實(shí)和擴(kuò)展現(xiàn)實(shí)（VR，XR）設(shè)備OLED生產(chǎn)效率和性能。

9月7日，Sunic Systems表示，公司已開發(fā)出可以實(shí)現(xiàn)OLED像素密度在2000PPI以上的對準(zhǔn)器。對準(zhǔn)器是將玻璃基板和有機(jī)物蒸鍍時使用的掩膜板進(jìn)行精密對齊的設(shè)備。Sunic Systems在第六代半切工藝上成功實(shí)現(xiàn)了0．7微米的對齊精度。

考慮到目前對準(zhǔn)器設(shè)備的精度為數(shù)微米級別，因此可將Sunic Systems本次的突破看成是一次成功的、重大的技術(shù)升級。要知道，2020年之前，壟斷OLED蒸鍍機(jī)市場的日本佳能TOKKI CANON靠的就是5微米內(nèi)的誤差控制。

由于對齊精度的提高，未來在大型玻璃基板上將可以實(shí)現(xiàn)2000PPI級高分辨率的OLED顯示。Sunic Systems表示，通過這種方式可以克服VR、XR設(shè)備的顯示限制。目前，VR、XR用的OLED通常只達(dá)到500～600 PPI的水平。

此外，筆者在這里還想聊一下維信諾的VIP技術(shù)，據(jù)其介紹稱，VIP技術(shù)可以使AMOLED有效發(fā)光面積（開口率）從傳統(tǒng)的29％增加至69％，并將像素密度提升至1700PPI以上。從像素密度上來看的話，這兩技術(shù)路線還是挺接近的。

Sunic Systems相關(guān)人士表示，以前，OLED面板應(yīng)用在VR、XR等屏幕中時，由于分辨率有限，因此只能在半導(dǎo)體基板上制作。但現(xiàn)在，新設(shè)備可以極大地提升PPI，因此則可以在大面積的玻璃基板上制作VR、XR用的OLED面板，這樣不僅可以降低生產(chǎn)成本，同時還可以增大顯示屏尺寸，簡化復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)零件，減輕最終機(jī)器的重量。

如果將該技術(shù)應(yīng)用于600PPI以下的現(xiàn)有量產(chǎn)產(chǎn)品，就可以實(shí)現(xiàn)增加發(fā)光面積的像素設(shè)計(jì)，并有望因此提高OLED的使用壽命。

此次技術(shù)是通過韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部支援的“在6GH級基板上實(shí)現(xiàn)1微米以下精度的排序（線）用視覺及垂直核心精密零件技術(shù)開發(fā)”國策課題進(jìn)行的。Sunic Systems確保了△超精密雙線鍵測量視覺模塊△高精度Z軸模塊△高張力靜電尺（ESC）等技術(shù)。

Sunic Systems表示：“此次技術(shù)開發(fā)進(jìn)一步確保了實(shí)現(xiàn)高分辨率OLED的核心技術(shù)，鞏固了生產(chǎn)元宇宙用OLED的蒸鍍技術(shù)產(chǎn)品組合多元化和市場領(lǐng)導(dǎo)力。”

另外，Sunic Systems上半年還從中國客戶那里獲得了利用硅晶片的OLEDoS量產(chǎn)用蒸鍍設(shè)備的訂單，預(yù)計(jì)明年第一季度交貨。OLEDoS是在半導(dǎo)體基板上制作OLED的技術(shù)，是驅(qū)動芯片和OLED一體的顯示器。

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